本文標題："鑄鐵表面加工顯微輪廓測量儀器-光學儀器"
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鑄鐵表面加工顯微輪廓測量儀器-光學儀器
顯微干涉輪廓儀的基本缺點，是視場照度明顯地比干涉顯微
鏡低得多，因為它不能用在兩個方向都擴展的光源，而采用窄的
發光狹縫。除此以外，又因采用兩面鏡，使儀器的制造和調整變得
復雜。因此，顯微干涉輪廓儀不能夠取代干涉顯微鏡，檢查有規
則痕跡的表面，采用干涉顯微鏡還比較合適。
改進型的顯微干涉輪廓儀，能正確評定被檢表面加工痕跡的深度。
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