本文標(biāo)題："電鍍工藝微晶結(jié)構(gòu),金屬樣品噴鍍厚度檢測顯微鏡"
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電鍍工藝微晶結(jié)構(gòu),金屬樣品噴鍍厚度檢測顯微鏡
利用電鍍工藝可以復(fù)制光柵一樣的很小結(jié)構(gòu)。為了制造注塑模壓工裝的模
芯，需要對原型光柵(例如，利用全息工藝將其制造在玻璃基板上光致抗蝕劑薄
層中)進行電鍍復(fù)制。該工藝對光致抗蝕劑層的耐化學(xué)性、對基板的附著能力以
及處理條件都有很高的要求。
將一厚度約100mm的金導(dǎo)電起始層噴鍍在抗蝕劑結(jié)構(gòu)層上。為了保證
模壓微結(jié)構(gòu)表面所需要的微晶結(jié)構(gòu)，該電鍍工藝采用低電流密度(
由于要求量小的內(nèi)應(yīng)力，所以.使用含高表面活性劑的鎳氨基磺酸電解液。
通過工裝模芯和靠模樣板的相互加工，可以達到非常高的定位精度。
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