本文標題："精密加工相適應的精密測量萬工顯制造廠商-工具顯微鏡"
發(fā)布者：yiyi ------ 分類: 行業(yè)動態(tài) ------
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最近的精密加工大致分為兩類。一類是在原有的機械加
工中，增加數(shù)字控制裝置或自動控制裝置，在金屬模的自由曲
面加工中尤為常見。另一類是用新的物理化學方法加工高精
度標準尺、繞射光柵的刻線和集成電路等。
與上述精密加工相適應的精密測量方法，是在零件加工
過程中，對零件的尺寸、形狀和位置誤差進行自動測量和在加
工后進行精密測量(如光波干涉法等測量方法)。
為了能在加工中或加工后迅速地計算處理測量數(shù)據(jù)，必
須使用電子計算機，然后把計算機處理的數(shù)據(jù)反饋給機床，以
保汪及時地控制加工情況。
加工中時刻變化的測量值是時間序列信息。加工后測得
的零件的尺寸、形狀、表面表面粗糙度儀等數(shù)據(jù)，也可按時間序列信
息處理。研究這兩種時間序列信息的相關性并用來處理測量
數(shù)據(jù)，可以獲得加工機床及測量儀器的動態(tài)特性。
用金剛石觸針測量加工表面的凹凸及波紋時，得出的信
息都屬于時間序列信息。最近研制成的脈沖編碼調(diào)制激光探
測視頻圓盤，對時間序列信息的加工、測量及其數(shù)據(jù)處理都起
了很大的作用，開拓了新的領域。
從前的測量大都是由人直接讀取被測量值，因此在研究
測量方法時，也多基于如何使被測量值容易讀取。然而，為了
提高測量效率，實現(xiàn)測量過程自動化，特別是為了消除人為的
測量誤差，必須研究新的測量方法。
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