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本文標題："標準量塊的尺寸與被測孔尺寸之差-工具顯微鏡"

發(fā)布者：yiyi ------ 分類: 行業(yè)動態(tài) ------ 人瀏覽過-----時間：2016-7-9 12:57:40

標準量塊的尺寸與被測孔尺寸之差-工具顯微鏡

測量時，先根據被測孔的尺寸選用標準量塊。由于能形成白光

干涉的光程差極小，因此標準量塊的尺寸與被測孔尺寸之差，必須

在幾微米之內。將選用的量塊與一對鍍銀平晶研合，形成標準具。

將標準具與被測工件一起置于工作臺的相應位置上。首先將被測孔

移動到使測量用的棱鏡深入到被測孔的測量位置。調整干涉僅及工

作臺，使兩組條紋等距且對稱地分布在視場中棱錐脊線影像的兩邊

，讀取兩零級條紋頂點之間的刻度格數。退出被測孔，移動工作臺

，使棱鏡進入標準具的測量位置。調整工作臺和安裝標準具的小工

作臺，使兩組白光干涉條紋再次出現在視場中。通過調整工作臺，

盡可能使出現的兩組條紋相互間的間距相等，相對棱脊的影像盡可

能對稱，并與棱脊影像平行。再次讀出兩條零次條紋間的刻度數，

兩組刻度數之差乘以格值即為孔徑相對于標準具尺寸之差。誤差的

方向不僅決定于干涉條紋的移動方向，而且還決定于棱鏡的角度是

大于還是小于90°棱鏡角度大于90°的情形，這時測量標準具，若

零級條紋的間距大于測孔時的相應間距，則孔的直徑比標準具的尺

寸大。反之，比標準具的尺寸小。

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