本文標題："封閉電極結(jié)構(gòu)-硅表面生成一層高質(zhì)量氧化物"
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封閉電極結(jié)構(gòu)-硅表面生成一層高質(zhì)量氧化物
三相電阻海結(jié)構(gòu):為了封閉電極結(jié)構(gòu)，克服周圍環(huán)境的影響，
采取的方法之一是引用硅柵結(jié)構(gòu)。在氧化層上淀積一層連續(xù)的高
阻多晶硅，然后對電極區(qū)域進行選擇摻雜，形成高阻與低阻相間的
三相電極圖案。電極間互連和焊接區(qū)采用蒸發(fā)鋁來實現(xiàn)。這種結(jié)
構(gòu)成品率高，性能穩(wěn)定，不易受到環(huán)境溫度的影響，它的缺點是尺
寸較大，僅用于小型陣列器件。
三相交疊硅柵結(jié)構(gòu):三相交疊硅柵結(jié)構(gòu)是常用的三相交疊電
極結(jié)構(gòu)形式。它既可使得電極間隙極窄，又能得到封閉的電極結(jié)
構(gòu)。三相交疊電極可以是多晶硅，也可以用金屬鋁，或者二種混
用。先在硅表面生成一層高質(zhì)量的氧化物，然后沉淀二氧化硅和
一層多晶硅，在多品硅上刻出第一組電極;再進行熱氧化，形成一
層氧化物，而后沉淀多品硅摻雜，并刻出第二組電極，以此類推，做
出三相電極。這是一種被廣泛采用的結(jié)構(gòu)，主要問題是制造工序
較多，而且必須防止層間短路。
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