本文標(biāo)題："影響測(cè)量的分辨率和形狀-達(dá)到數(shù)十微米"

影響測(cè)量的分辨率和形狀-達(dá)到數(shù)十微米

幾種基于米勞干涉原理或者邁克爾孫干涉原理的測(cè)量
儀器可以實(shí)現(xiàn)高度小于1 nm的測(cè)量，其相應(yīng)的軟件可以呈
現(xiàn)最大高度的變化和斜率相對(duì)于統(tǒng)計(jì)周期的變化，或者超過(guò)
毫米級(jí)孔徑的功率譜密度問(wèn)題。
商用的斐索干涉儀可以給出斜率統(tǒng)計(jì)的報(bào)告，其橫向空
間分辨率最好時(shí)可以達(dá)到數(shù)十微米。
探針式輪廓儀采用線性掃描來(lái)實(shí)現(xiàn)測(cè)量。其探針直徑
的大小直接影響測(cè)量的分辨率和掃描形狀。目前探針的半
徑可以做到0．2μm以下。此外．探針接觸力的大小很容易
超過(guò)材料的屈服強(qiáng)度．因此合適的校準(zhǔn)和振動(dòng)隔離是至關(guān)重
要的。
原子力顯微鏡AFM的探針半徑在納米范圍．可以測(cè)
量的高度達(dá)到0．04nm(原子半徑)．但掃描整個(gè)區(qū)域的速度
很慢。

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