本文標題:"工具顯微物鏡有景深所以待測物的高度不能過小"
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工具顯微物鏡有景深所以待測物的高度不能過小
顯微物鏡主要規格
數值孔徑 0.28
放大倍率 10
工作距離 33.5 毫米
焦距 20 毫米
焦深 3.5 微米
顯微物鏡有景深(Depth of Field)的因素,所以待測物的高度不能過小,否則會因景深的緣故,
造成 z 軸切層無法取得最佳的聚焦度量值,重建出來的待測物輪廓也會錯誤
電腦
因為程式是交由電腦執行,所以電腦配備優良與否,決定了執行
程式的速度與穩定性
移動平臺
本研究光學量測系統主要是利用平臺移動,來獲得被檢測物在 z
軸方向上的輪廓資訊,所以對于每步的移動量,必須能由系統使用者
視量測需求來掌握,因此本文研究選擇 SIGMA-KOKI 公司的精密定
位平臺,搭配 PMM33BH-MG20 的步進馬達驅動控制單元,
并藉由軟體達成自動控制移動平臺的目的
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