本文標題："全像顯微技術(shù)可以實現(xiàn)準確量測試樣的三維結(jié)構(gòu) "

全像顯微技術(shù)可以實現(xiàn)準確量測試樣的三維結(jié)構(gòu)

數(shù)位全像顯微系統(tǒng)重建微/納米元件樣本
三維結(jié)構(gòu)之能力。這個所提出的光學(xué)系統(tǒng)利用一個物鏡(Objective Lens)放大物體
的波前，同時在物鏡后面引入一個補償透鏡(Offset Lens)并與前者形成共焦點架
構(gòu)，借此實體地補償因物鏡所產(chǎn)生的二次式相位(Quadratic Phase)，即所謂的失
焦像差(Defocus Aberration)。我們利用Mach-Zehnder 干涉儀來實現(xiàn)任意步進相
位數(shù)位全像顯微系統(tǒng)。由全像重建所引起的零階和共軛干擾影像，將應(yīng)用單次
曝光法及任意步進相位方法加以抑制。從數(shù)值重建物體的波前可得到相對的相
位分布，并利用Kreis 所提出的相位展開技術(shù)還原其原本的相位資訊。最后藉由
還原的物光相位，達到分析樣本三維結(jié)構(gòu)的目的

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