本文標題:"應用于晶粒平均尺寸測定分析專業(yè)圖像顯微鏡廠商"
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應用于晶粒平均尺寸測定分析專業(yè)圖像顯微鏡廠商
快速熱退火
一般退火處里是利用熱能將材料內(nèi)應力缺陷消除,或使材料內(nèi)雜質(zhì)產(chǎn)生擴
散作用;材料晶格內(nèi)的原子及缺陷在受到外加能量作用后,會產(chǎn)生振動及擴散,迫
使原子排列重新組合,進行再結(jié)晶。當退火溫度較低時,熱能量僅能提供晶格內(nèi)的
原子運動及缺陷重新分布達一穩(wěn)定態(tài),無法對晶體結(jié)構(gòu)產(chǎn)生任何變化,此階段稱為
復原。當熱能使材料內(nèi)的缺陷因原子重新排列而降低,進而產(chǎn)生無差排的晶粒時
稱為再結(jié)晶過程。當退火溫度繼續(xù)提升,再結(jié)晶過程所形成的晶粒就具有足夠的能
量克服晶粒間的表面,晶粒即開始消耗并吞小晶粒而成長成較大的晶粒,此階段稱
為晶粒成長。
快速熱退火(Rapid Thermal Annealing RTA)處理過程包含三階段:升溫階段、
穩(wěn)定階段和冷卻階段,升溫過程中,單位時間內(nèi)溫度變化量的大小,亦即升溫速率,
將影響材料晶粒形成大小,在穩(wěn)定階段和冷卻階段,時間的長短都將對材料內(nèi)應力
型態(tài)造成影響
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