本文標(biāo)題："從固定的接觸點(diǎn)上測(cè)量電流-測(cè)量光學(xué)儀器"
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從固定的接觸點(diǎn)上測(cè)量電流-測(cè)量光學(xué)儀器
電子束器件測(cè)試電子束探針能用來(lái)進(jìn)行半導(dǎo)體元件的某些
特殊電學(xué)測(cè)試，并且從原理上來(lái)說(shuō)優(yōu)越于機(jī)械探針，因?yàn)樗墒箼C(jī)
械損傷減至最小，而且探針的大小可以做得非常小.它的一個(gè)缺
點(diǎn)是電子束能裂解試樣上面氣氛中的真空泵油，使得在半導(dǎo)體表
面沉積了一層薄的碳膜(這樣電子束信號(hào)的診釋可能是困難的）
因此不能獲得足夠多的數(shù)據(jù)來(lái)全面地表征元件的性能.
可以使用兩種不同的操作方式.第一種是被測(cè)元件通過(guò)常規(guī)
的接觸與互連方法被偏置，而元件表面任何選定點(diǎn)的二次電子發(fā)
射被用來(lái)估計(jì)該點(diǎn)的相對(duì)電壓.
第二種是在元件上只作一個(gè)外連接線，而將電子束本身作為另一個(gè)連接線.
然后從固定的接觸點(diǎn)上測(cè)量電流.當(dāng)檢測(cè)非常復(fù)雜的電路時(shí)，第一種方式是
特別吸引人的，因?yàn)樗軓碾妷阂r度發(fā)現(xiàn)失效點(diǎn)
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