本文標題:"場離子顯微鏡裝置能夠用來研究應用得廣泛多種類型"
發布者:yiyi ------ 分類: 行業動態 ------
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場離子顯微鏡裝置能夠用來研究應用得廣泛多種類型
原子探針基本原理
MOller,Vanselow和Schmidt首先用質譜儀測定室溫和
高于室溫的場蒸發的各種特征。Barofsky和Mailer將場離子顯
微鏡與磁偏轉質譜儀組合,在低溫下鑒別了場蒸發元素。但初始階
段的儀器不能對樣品進行有選擇的局部區域的分析。意義最深遠
的設計產生在1967年,這就是由Mailer.Panitz和McLane開拓
的飛行時間原理。在他們設計的儀器中,場離子顯微鏡的成像熒光
屏上開一小探孔,樣品固定在一個可以轉動的支架上,以便使圖像
上的某個小的區域調整到與單個離子靈敏的飛行時間質譜儀成一
直線。在場離子顯微鏡的靜電場中所形成的場電離離子
和場蒸發離子軌跡的相同性,第一次使得區別被選擇的單個離子
成為可能。
原子探針操作的基本原理是非常簡單的,區別單個原子的第
一步是要形成樣品的場離子圖像,其次,確定樣品位置,以便被選
擇區域的場離子圖像落在通道板和熒光屏裝置的小孔上。然后,表
面原子通過加到樣品上的一系列ns上升時間的高壓脈沖而場蒸
發。當電離的原子從整個樣品表面剝落時,只有軌跡通過熒光屏上
小孔的電離的原子才能進入質譜儀被分析。這些離子的質荷比m/
咒可通過使具有總電壓V的樣品表面的離子的勢能與離子被加速
到對面電極(保持在地電位)所得到的動能相等而計算出來。
現行的場離子顯微鏡裝置能夠用來研究多種類型的材料,幾
乎包括了所有的金屬和合金,以及半導體、導電的氧化物、陶瓷等
場離子顯微鏡圖像也能從樣品表面的場蒸發的離子形成,并
稱之為場解吸顯微鏡。這類成像具有內在的不穩定性,這是因
為在成像過程中樣品表面的原子材料連續地被剝落。盡管成像強
度可用串接的兩個微通道板的成像轉換系統增強.這類成
像也非常微弱,因為每個像點僅由一個離子來形成。場解吸顯微鏡
技術沒有場離子顯微鏡應用得廣泛,但場解吸顯微鏡提供了成像
襯度的另一種不同的來源,特別是可以用來研究離子投影和投影
畸變效應的細節
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場離子顯微鏡裝置能夠用來研究應用得廣泛多種類型,金相顯微鏡現貨供應
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