本文標題："宏觀幾何量CCD工業(yè)顯微鏡制造廠商-檢測砂輪微觀幾何"
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宏觀幾何量CCD工業(yè)顯微鏡制造廠商-檢測砂輪微觀幾何
宏觀幾何量中的傳感器
大部分傳感器可用于測量宏觀幾何量的特性。任何類型的
傳感器與旋轉(zhuǎn)刀具的機械接觸都會引起一系列的問題，因為研磨劑
總是趨于去研磨所接觸到元件的原材料。只有通過具有小的接觸力
的短接觸脈沖，及通過應(yīng)用頂端非常硬的材料，例如，碳化鎢，才
可能達到滿意的結(jié)果。例如，利用偏心驅(qū)動實現(xiàn)針的擺動來測量砂
輪半徑磨損的系統(tǒng)已被使用，其中切削速度可以達到35m／s。然而
，切削液的供應(yīng)及帶有多孔玻璃黏合劑的金剛砂砂輪引起嚴重的問
題。在任何情況下，這些基于接觸的方法在旋轉(zhuǎn)刀具中只適合于宏
觀幾何量的測量，被限制在少數(shù)的研究中。
另一組用于砂輪測量的傳感器是基于氣動系統(tǒng)。雖然由于
噴嘴直徑是1mm或更大，這種方法在原理上不能檢測砂輪微觀幾何
量的特性，但它們對于檢測宏觀幾何量是很重要的。有壓縮空氣供
應(yīng)的系統(tǒng)及沒有壓縮空氣供應(yīng)的系統(tǒng)要分開。后者，以測量旋轉(zhuǎn)砂
輪的氣流為特性。結(jié)果表明，氣流依賴于傳感器距表面的距離，圓
周速度，并且受砂輪外形的影響。有壓縮空氣供應(yīng)的方法是基于噴
嘴彈回金屬板的原理，通過砂輪彈回金屬板。這些系統(tǒng)有能力測量
距離的變化及半徑的磨損，分辨率為0．2μm。正是由于這個特性
，以及易于安裝和適當?shù)膬r格，所以氣動傳感器在工業(yè)中可以被接
受。
另一個記錄砂輪宏觀幾何量的方法已發(fā)表。在利用CBN砂
輪進行高速內(nèi)徑磨削的過程中，通過小直徑的砂輪，用帶有有源磁
性軸承的軸(AMBs)來達到必要的圓周速度200m／s。這種軸可以使
轉(zhuǎn)子從圍繞幾何中心軸旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)換到圍繞慣性主軸旋轉(zhuǎn)來補償所有不
平衡。尤其是如果所用的電鍍CBN砂輪沒有修整的可能性時，應(yīng)用
平衡面是必要的。測量在研磨層中以非常高的圓周速度旋轉(zhuǎn)的砂輪
的脫離，電容傳感器顯示了最好的性能。
聲學傳播信號也用于檢測砂輪的宏觀幾何特性。用一個裝
配有聲學傳播傳感器的單點金剛石修整器來檢測砂輪表面精確的位
置。因為由于湍流，聲學傳播信號在修整器沒有與砂輪接觸時可被
得到，在整個三個不同接觸條件可被區(qū)分為：非接觸，彈性接觸，
脆性接觸。建議應(yīng)用彈性接觸范圍的聲學傳播標準來監(jiān)測砂輪的精
確位置。當前惟一的不利是只能使用單點修整器，為了克服這個缺
點，對于旋轉(zhuǎn)修整工具的擴充是當前研究的主題。
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