本文標(biāo)題:"以激光為光源設(shè)計(jì)具光譜和顯微鏡整合的光學(xué)量測(cè)儀"
發(fā)布者:yiyi ------ 分類: 行業(yè)動(dòng)態(tài) ------
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共焦顯微鏡售價(jià)極高且系統(tǒng)改裝不易,
以光學(xué)元件建構(gòu)而成的共焦顯微鏡,并配合各式光譜量測(cè)技術(shù)與差動(dòng)式共焦顯微術(shù),進(jìn)行設(shè)計(jì)具光譜及顯微術(shù)整合的光學(xué)性質(zhì)量測(cè)系統(tǒng)。
裝置了兩套共焦顯微術(shù)系統(tǒng),包括螢光共焦顯微系統(tǒng)與差動(dòng)式共焦顯微術(shù)系統(tǒng),
前者以螢光激發(fā)雷射為光源,后者以高穩(wěn)定性單頻雷射為光源
使用高穩(wěn)定性(擾動(dòng)< 0.1%)氦氖雷射為光源,并利用極化分光器與二分之波長(zhǎng)板
與四分之波長(zhǎng)板作強(qiáng)度調(diào)變與回授光分離,使用 PI 公司所生產(chǎn)的壓電驅(qū)動(dòng)控制平臺(tái),作樣
品二維掃瞄與物鏡縱向驅(qū)動(dòng)的奈米級(jí)驅(qū)動(dòng)控制。光偵測(cè)器所收集到的共焦光子信號(hào)經(jīng)放大
后,透過(guò)類比/數(shù)位信號(hào)擷取卡,利用 LabVIEW 軟體進(jìn)行信號(hào)擷取與三維掃瞄的自動(dòng)控制
使用 532 nm 波長(zhǎng)的雷射為光源,與數(shù)值孔徑 0.65 的 40X 物鏡,以直徑 1 µm 的螢光
小球(激發(fā)中心波長(zhǎng) 540 nm,放光中心波長(zhǎng) 560 nm)為樣品,進(jìn)行螢光共焦顯微術(shù)的 X-Y
二維掃瞄,其結(jié)果如圖三所示。掃瞄面積為 50 x 50 µm2,影像中心的螢光小球直徑(箭頭
標(biāo)示處)經(jīng)影像強(qiáng)度剖面分析,縱向與橫向的半高全寬值分別為 1.0 µm 與 1.5 µm,驗(yàn)證了
共焦顯微系統(tǒng)的二維解析能力與螢光影像能力
開(kāi)發(fā)制作了微流道晶片。以半導(dǎo)體材料為基材,采用光罩顯影與曝
光蝕刻的技術(shù),并在微流道中間設(shè)計(jì)了柱狀的微米尺度結(jié)構(gòu)。柱狀微結(jié)構(gòu)每個(gè)直徑為 20
µm,柱狀中心間距為 30 µm。
柱狀微結(jié)構(gòu)的光學(xué)顯微鏡觀察結(jié)果以及差動(dòng)式共焦顯微術(shù)的掃瞄結(jié)果
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