本文標(biāo)題："表面輪廓量測方法可以使用表面輪廓測厚儀和掃描式顯微鏡"
發(fā)布者：yiyi ------ 分類: 技術(shù)文章 ------
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表面輪廓的量測方法可以使用表面輪廓測厚儀和掃描式電子顯微鏡
光阻與基板之蝕刻速率對(duì)于我們?cè)谥谱靼穗A微透鏡及灰階微透鏡之重要性，
以及表面輪廓之量測方法有表面輪廓測厚儀及掃描式電子顯微鏡來進(jìn)行量測八階及灰階微透鏡。
杜曼-格林干涉法對(duì)于長焦距的灰階微透鏡而言，在焦距的
±0.5cm 處也有干涉條紋的產(chǎn)生，因此焦距的誤差在±2%左右﹔此干
涉法無法量測短焦距的八階微透鏡。云紋干涉法對(duì)長焦距或是短焦
距的微透鏡都可用此方法量測，對(duì)長焦距的灰階微透鏡而言，若在
元件尺寸內(nèi)的干涉條紋數(shù)多一條或少一條會(huì)造成量測焦距的誤差在
2%﹔對(duì)短焦距的八階微透鏡而言，焦距的量測誤差仍然太大
(±40%)﹔改進(jìn)的方式則需儘量增加八階微透鏡移動(dòng)的距離，使量測
之單位長度的干涉條紋數(shù)改變量增加，以提高焦距量測的精確度
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