本文標(biāo)題:"小透鏡、微形模具及其它小形極精密組件檢測顯微鏡"
發(fā)布者:yiyi ------ 分類: 行業(yè)動(dòng)態(tài) ------
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線性軸解析度為1nm,對旋轉(zhuǎn)軸為0.00001°,于直線,NC指令實(shí)際跟蹤速率達(dá)±2nm,于分度法為±5/100,000°,
此極佳之伺服追蹤能力被稱為“全無摩擦之奈米伺服技術(shù)(所有線性滑塊與螺旋為氣靜壓軸承)”。
此外,系統(tǒng)是密封于空氣浴溫控單元內(nèi),其溫度可控制達(dá)0.01℃,以去除熱成長誤差。
加工鏡面、過濾器、柵格、液晶顯示器板、小透鏡、微形模具及其它小形極精密組件,
大部分組件須約5分鐘加工,圖2a為具高深寬比梯形溝槽之黃銅組件,開放角3°,溝槽間距35mm。
高深寬比之梯形溝槽于半導(dǎo)體加工很普遍,然而側(cè)璧粗糙度及ROBOnano加工溝槽之底部邊緣尖銳度遠(yuǎn)
優(yōu)于半導(dǎo)體加工使用之其它方法。圖2b于雙聚焦透鏡模具包含35mm寬及可改變V角度之深度連續(xù)
曲線V溝槽,此外,三維自由曲度表面,如4×4凸形透鏡排列,可利用ROBOnano加工,
材料可為黃銅與矽,透鏡間距290mm,直徑236mm,高16mm,R 448mm
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